AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

AURION Anlagentechnik GmbH - Plasmatechnologie = Sistemi al plasma + Componenti ad alta frequenza. La AURION Anlagentechnik GmbH è stata fondata verso la fine del 1996 da tre azionisti. L'idea alla base della fondazione dell'azienda è stata quella di produrre componenti e sistemi completi di trattamento delle superfici che siano efficienti, a costi ridotti e rispettosi dell'ambiente. AURION sviluppa e costruisce componenti per l'alimentazione di sistemi al plasma. Questi includono reti di adattamento dell'impedenza con unità di autotuning così come filtri, interruttori, sfasatori, divisori di potenza, cavi e connettori. L'attenzione è focalizzata sui processi plasmatici ad alta frequenza a 13, 56 o 27, 12 MHz. Con il know-how in ingegneria dei componenti, AURION offre anche sistemi completi per il trattamento al plasma delle superfici, ad esempio per la pulizia e la modifica delle superfici, nonché per i processi di rivestimento e incisione (PVD, PECVD, RIE, microonde).